工件測量上的誤差以及光學效率與品質的降低
量測上的誤差
測量上的誤差主要是由人為的失誤，以及量測儀器本身的限制所產
生，容易造成光學效率與品質的降低。
（一）待測物表面不清潔
經過準分子激光加工過后，元件表面上都會有加工所殘留的殘
渣，故工件上油脂、殘渣、塵埃等皆容易造成量測上的誤差，也容
易造成光的散射，使量測上的誤差因此產生。而清洗是必要的，首
先用去離子水（DI water）沖洗元件表面，再放入超音波震盪器內，
加以震盪，較后以氮氣吹乾。
（二）量測儀器本身的限制
各種光學儀器皆具有固定的誤差值，所以當光入射各各光學儀
器均會造成量測上誤差的產生，而解決之方法唯有盡量縮短光路，
并注意各種光學儀器的誤差值，如果誤差值過大就要避免使用。另
外在薄膜測厚儀也有其本身探針的限制，其探針針頭為 1μm，所以
會有其誤差的存在，另外在光學顯微鏡、電子顯微鏡、顯微干涉儀
也有其本身儀器的限制。
（三）影像擷取的誤差
在量測上，當影像在擷取時，一張影像卡的好壞既在此有分別，
任何影像擷取卡皆有一固定值得損失，我們電腦分析程式是以
LabVIEV 軟體以及 Matlab 軟體所撰寫，皆以 LabVIEV 所提供的影像
擷取卡進行影像擷取分析，當然也無法避免此損失，而 CCD Camera
也有其解析度的限制，其解析誤差也會造成量測上誤差的產生
