簡單介紹表面粗糙度誤差-顆粒粗糙度檢測顯微鏡

表面粗糙度誤差
由于準分子激光光刻的能量輸出并不連續，因此會在元件上產
生出如斧鑿般的痕跡，但此痕跡也是在所難免的，表
面粗糙度較大都到達微米（μm）級，相較于光學表面奈米（nm）級
的要求過于粗糙，唯有再加研磨拋光技術，才可消除此波紋。

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