上光儀器-工具顯微鏡自動對焦的原理
自動對焦的原理
系統可進行XY水平量測。但是僅憑CCD攝像機影像,系統無法進行高度量測。系統通常都具備自動對焦機制,用于高度測量。以下向您介紹使用普通影像的自動對焦機制,雖然有些系統可能使用激光自動對焦。
系統沿著Z軸上下移動CCD,進行影像分析。在分析影像對比時,清晰的影像表示對比值較大,模糊的影像表示對比值較小。因此影像對比度較高時的高度即為焦距高度。
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