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線聚焦原理-上光儀器精密儀器顯微鏡成像設備




來源:yiyi
時間:2013-1-24 21:18:49

線聚焦原理-上光儀器精密儀器設備簡介

線聚焦原理(Line Focus Principle)

使用小焦點并且通大電流較為理想,讓我們把焦點想成一面鏡子,現在使焦點與電子流進入方向夾成一個角
(實際的焦點與觀察有效的焦點之間有個三角函數的比例,端看兩者的夾角而定。)

所以如果入射的實際焦點固定,靶與電子流的夾角增加,有效焦點變大,由于有效的焦點看起來總是比實際上小,
所以可以達到較大散熱面積與小焦點的好處。照理來說,夾角越小越能利用大面積散熱,又能保持小焦點的作用,
但是實際上角度只能在7~15度之間,因為有腳跟效應(heel effect)的作用。

小角度:影像成像佳,陽極靶須承受高熱,成像范圍小。
大角度:影像成像較差,陽極靶不須承受高熱,成像范圍大。

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