在諸多掃描探針顯影技術應用中，在鐵電材料的偵測上又以壓電力顯微鏡(piezoresponse forcemicroscope)較具代表性，

其透過鐵電材料的逆壓電效應來獲得鐵電區呈像，且具有極高的垂直及側向解析度并對表面形貌的作用有較低的靈敏度，

除此之外，也能夠在鐵電區中作電壓寫入使材料內部之電極化反轉，且能觀察電區結構隨著時間及熱作動態的演進，

并能作微區壓電響應曲線（piezoresponse curve）之定量量測，進而獲得局部區域之壓電性質。

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