材料具有很多的優異特性，如鐵電性、壓電性、焦電性，

因此被廣泛地應用在微電子元件中，其具有自發極化性且極化方向能藉由施加外加電場反轉，所以可以拿來當作記憶元件，也因此更使得鐵電材料被廣泛地研究；

由于鐵電薄膜的巨觀性質與其微觀的鐵電區有關，

所以量測薄膜的鐵電區結構與觀測其極化機制就顯得十分的重要；

因此需要具納米尺度的檢測技術，其中以掃描探針顯微術

(scanning probe microscopy)為適合進行作研究的工具之一，

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