細微工件輪廓測量工具顯微鏡-金相分析儀器
鋁∕銅液相擴散接合完成的試件,以鉆石鋸片切割至適合實驗觀察檢測試件的尺寸大小,觀察接合界面的垂直方向,并完成金相觀察需求的拋光研磨表面,在接合界面(Bonding interface),運用掃瞄式電子顯微鏡(SEM),并同步應用電子微探針分析儀(EPMA)、X 光能量分析儀(EDX),分析各種元素在接合界面的擴散分布及化學組成的改變,同時以 X 光繞射分析儀(X-ray diffraction),分析接合界面在不同參數條件反應下所形成的化合物。
在機械性質方面,將擴散接合完成的拉剪力試樣,運用 MTS 拉伸試驗機,測試接合面的剪力強度,并以 SEM 觀察不同擴散共晶液相層厚度的破斷面。另外利用維克氏顯微硬度計量測接合界面的硬度分布型態
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