顯微鏡觀察透明水凝膠材料上的細胞輪廓
繞射式光學元件為了要提升效率,會將元件制作成多位階
(Multiple Level)的形式。傳統的做法,會用多片不同的光罩,經過多
次曝光、顯影與蝕刻的步驟,將元件制作出來。但這個過程過于繁復,
容易造成制作上的困難與誤差。然而灰階光罩(Gray Level Mask)技術
改進了制作方式。利用灰階光罩,只需一次的曝光、顯影與蝕刻步驟,
即可做出高效率的繞射式光學元件。
激光直寫玻片(Laser Direct Write Glass,LDW Glass),
這是一種利用激光束寫入灰階圖案的玻璃片,用來制作灰階光罩。
用波長為 442nm 與 532nm 的激光當作光源,以顯微鏡物鏡(NA=0.1、0.25、0.4)
聚焦寫入玻片。
量測了玻片之穿透率譜線以及不同顯微鏡物鏡之聚焦效果,較小光點大小約 2μm。
測試了激光寫入光強、時間、速度與玻片穿透率之間的關系。
制作出光柵之灰階光罩,并成功制作出表面起伏連續變化的閃耀式光柵。
其中周期分別為 46μm 與 15μm,品質因子(Quality Factor)為 0.9 與 0.83。
并以光學顯微鏡,電子式顯微鏡,原子力顯微鏡來觀測元件,
加以印證灰階光罩技術的成果