AFM顯微鏡應用于檢測刮痕實驗-光學儀器廠商

一是使用矽探針進行AFM 模式將試樣的表面形貌掃出，另外則為使用鉆石探針進行刮痕
實驗。在開始執行刮痕實驗之前，須先使用矽探針以微小力量掃描試樣的
表面形貌，以避免試樣表面粗糙度過大或是試樣表面過于傾斜等情形，在
確定試樣的量測范圍有好的粗糙度后，即可選取AFM 模式下的Vector
Scan 功能，利用撰寫程式來控制犁耕力量、速度、刮痕長度以及探針位置
等，在程式完成后即可以鉆石探針進行犁耕動作。

規劃，先進行控制不同犁耕力量來執行單一刮痕實驗，藉由控制不同正向犁耕力量來
觀察于不同鍍膜層的側向力差異，以及不同試樣刮痕軌跡上的表面粗糙
度，并再以固定正向力執行往覆式刮痕實驗，以進而解釋鍍膜層磨耗之表現

(本文由上海光學儀器廠編輯整理提供, 未經允許禁止復制http://www.xjwdx.com)