光學放大物鏡搭配測量裝置-測定微小工件投影儀
在一般的情況之下,想要求得每一像素(pixels)實際代表的長
度,可由 CCD 規格中的感測區域(Sensing Area)尺寸
和鏡頭放大倍率來求得
CCD感測區域尺寸
每一像素點代表長度 ————————————————
鏡頭放大倍率 CCD感測區域分辨率
在普通的情況之下,以此種推算方法來計算實際的長度不會有
多大的誤差。
但如果以此公式套用在繞射極限附近的光學放大系統
下,將會有極大的誤謬存在
假設此數值代表了實際可以解析的能力,那此套系統將具有能
解析到 0.013μm 的能力,若我們再選擇更高的 CCD 感測區域解析
度,是否就可以繼續提高分辨率,當然,此問題的答案是否定的。
原因是這個系統中根本不存在有經此放大光學系統放大后大小剛好
等于一個像素的光點。
利用上式在繞射極限附近的光學放大系統下
推算的誤謬在于,沒有考慮到光學系統的解析能力是有限的,以本
系統為例,在繞射效應的限制之下,推算出的較大解析度將不會達
到 493 個,由此可知光學系統的調制轉移函數(Modulation Transfer
Function, MTF)將是整個分辨率上的限制。
雖然一個像素所對應的大小,不能代表實際的尺寸,不見得有
意義,但是數十個或是數百個像素所對應的尺寸,就擁有其不可否
認的實際意義,但計算出來的數值,其有效的位數將被限制,在此
種不合理的情況之下,要利用此種估算的方法,較能接受的即是采
用相對比較的值