光學鏡片表面輪廓與其表面粗糙度檢測-測量顯微鏡
為非接觸式鏡片表面輪廓檢測儀器
用掃描白光干涉儀原理(Scanning White Light Interferometer)進行表面輪廓測量,
并藉由壓電轉換器(Piezo-electric Transducer,PZT)帶動垂直方向掃描,
進而推算出三維的表面輪廓結構,
因此本系統適用于表面有高低起伏的輪廓結構工件與其表面粗糙度測量,
例如一般光學鏡片表面輪廓與其表面粗糙度檢測。本儀器為非接觸式檢測,可避免一般使用探針式的機械測量方式,容易造成鏡片表面刮傷
(本文由上海光學儀器廠編輯整理提供, 未經允許禁止復制http://www.xjwdx.com)