研磨加工表面光潔度及顆粒測量顯微油分析儀器

對于微型球狀研磨工具而言，由碳化鎢電極經放電高溫熔化并 借助由表
面張力原理使其尖端形成球狀，成球形狀精度會受到峰值電流、脈沖時間
影響而球狀電極之偏擺角度受到電極轉速之參數影響，而復合電鍍沉積時
鍍層的表面平整度、磨粒分布均勻性與鍍層厚度皆受到電流密度、磨粒添
加量、工具轉速與電鍍時間等參數影響。因此擬控制以上參數以得到較佳
之制程參數。

制作出磨粒分布均勻的微型研磨工具，其工具球徑大小、長度、偏擺
角度、表面磨粒附著量多寡等，皆會影響研磨加工后的微凹型球面模穴表
面品質，所以本研究將再進行微凹型球面模穴研磨加工的特性探討，以得
到較佳研磨加工效果

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