SEM電子顯微鏡觀察微凹型球面模具表面結構

鋁合金 6061 的微凹型球狀模穴加工。工具電極復合電鍍沉積完
成后，進行對鋁合金 6061 的微凹型球面模穴加工，其步驟如下，如圖 3-12
之加工示意圖：

1. 預先放電一深度 5μm 之凹坑，其主要目的為使精微球狀研磨工
具在研磨工件表面時有引導方向之作用，而不會呈現初始研磨時
球狀研磨工具左右偏擺現象，將放電加工機 Z 軸提升，加入已調
配好混合游離磨粒之研磨液于放電微凹坑中，以方便進行微凹型
球面模穴研磨，并以各種不同之研磨參數進行加工，使微凹型球
面模穴表面能夠達到理想表面。

2. 利用超音波洗凈設備將為研磨工具與工件洗滌干凈，SEM電子顯微鏡觀察表面

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