首先，激光掃描顯微鏡與掃描電子顯微鏡相似;

其次，激光掃描顯微鏡是用激光束工作，而掃描電子顯微鏡是采用電子束工作的；激光掃描顯微鏡還采用了自動聚焦裝置。

激光掃描顯微鏡主要工作參數工作距離:1~45mm;測量范圍:0. 005~lmm;較高垂直分辨率:lnm,可用于樣品的微觀形貌觀察，表面結構和粗糙度測量、振動和形變的觀察.