掃描延伸電阻顯微鏡簡介-上海光學儀器一廠

掃描延伸電阻顯微鏡（Scanning Spreading Resistance Microscope：SSRM）是掃描探針顯微技術代表性儀器之一，
掃描延伸電阻顯微儀可對映出樣品表面隱含的電導率或電阻率的二維分佈對比影像，且有極佳的空閒解析(奈米尺度，約15nm)，

常運用在半導體產業對映出半導體內的載子濃度分佈。SSRM的工作機制，系在導電探針與樣品間施以一可調節的直流電壓，

并擷取出流經樣品的電流及流經參考電阻的電流，經由對數運算即可求得RSR，對應出試片表面電導率或電阻率的二維分佈對比影像。

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