光學顯微鏡原理之可見光的波長約為400～700nm
可見光的波長約為400～700 nm 光學微影術主要包括：G-line(436nm)、I-line (365nm)、KrF(248nm/DUV)、ArF(193nm/VUV) 非光學微影術主要包括：EBL、XRL(7∼13 nm)、IPL、EUVL(13nm)
光學微影術雖然能藉由波長較短的光源及其他種種修正技巧，將解析度往下推進，但是進步的空間終究有限，因此發展出許多不同的制程技術，希望可以繼續縮小線寬，非光學微影術使用的波 長遠比一般非光學微影術制程所使用的光源波長更小，因此能提供更高的解析度�！〕�波段不同以外，以更精確的語言來說，應該可以分為“傳統光學微影術”和“非傳統光學微影術”，借以區別兩個技術代的不同
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