掃描式電子顯微鏡的主要用來做什么的？

掃描式電子顯微鏡（Scanning Electron Microscope, SEM）主要利用電子光學系統將電子光束產生的電子聚焦成一微小的電子束至樣品表面，

并利用掃描線圈使其在樣品表面上掃描。電子束與樣品間的交互作用會激發出各種訊號，
如: 二次電子、背向散射電子及特性X光等，SEM主要就是收集二次電子的訊號來成像。由于SEM其解析度高及景深大，放大倍率可達到一萬倍以上，
故主要是用來觀察樣品表面及剖面微結構，
如在設備上加裝能量分散X光譜儀(Energy Dispersive Spectrometer, EDS)時，則可對樣品表面同時進行微區之材料分析，

包括定性、半定量之元素分析以及特定區域之point、line scan、mapping分析。

可提供高解析之表面結構分析影像外，亦可進行材料成份之分析。

應用
  針對各種材料表面微結構觀察。
  藉由SEM本身之量測功能，可提供精準之尺寸量測，如膜厚等。

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