由于受到可見光波長限制,光學顯微鏡的較佳解析度到微米(μm)等級,1924年德布羅依提出物質波假說,原來電子也有波動性,而且由于波長可以更短照著這樣的方向,是否可用電子取代光波?
在1939年德生產出第一臺商用電子顯微鏡使得人類觀察物體的來到了原子的級別,但是由于電子顯微鏡運行的環境有限制,比如要在真空中測量、樣品必須導電,若是不導電那么還需將涂上金或者白金,樣品不能使粉末或揮發性的物品
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