來源:yiyi

時間:2011-10-3 14:46:33

今天介紹掃瞄電子顯微鏡SEM的原理跟應用，掃瞄電子顯微鏡用在很多的場合，包括材料分析跟一些破壞分析都用的到，所謂掃瞄電子顯微鏡的英文全名為Scanning Electron Microscopy，簡稱為SEM。
   我們今天上課分為五個部份，因為時間的關係每個部份只能大概包含一些重點，其中主要就是我們電子顯微鏡中電子束形成的方式是第一個，接下來就是掃瞄電子顯微鏡的內部構造稍為做一些簡介，再下來我們會提到電子顯微鏡成像，就是它形成的影像是什麼樣的形式，它有那些的原理我們會做一個介紹，第四個部份就是會介紹掃瞄電子顯微鏡裡面較重要一個輔助的功能，也就是成份分析，你在看你試片的影像的同時，也可以知道試片裡面含有什麼樣的元素，這成份分析簡稱為EDS，這個我們會做詳細的說明，較后一個部份會簡單的介紹電子顯微鏡它的試片製備，以及需要注意哪些地方。
   這邊有幾個參考的書籍，這門課裡面主要是由這本書Scanning Electron Microscopy and X-ray Microanalysis這本書的一些圖片跟檔桉來製作完成的，這本書由1990年代發行，雖然現在已經沒有再發行，不過它的內容非常好。至于中文的部份是由陳力俊院士，正是目前國科會副主任委員，他所著作的一本書叫做材料電子顯微鏡，是由國科會精密儀器中心發行的。